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研究方向：
（1）纳米表面科学与工程；
（2）微纳先进制造工程；
（3）光机电检测与控制工程；
（4）微纳光子技术与器件。
纳米表面科学与工程是探索低能电子诱导下光机电集成纳米表面制造新原理以及纳米表面光电特性控制新工艺等，微纳先进制造工程侧重于发展新型微米精度的加工原理、工艺和装备，光机电检测与控制工程侧重于研究微纳制造、高端装备中的共性、基础性检测、驱动与控制科学技术问题，为智能制造的创新发展提供支撑，微纳光子技术与器件主要研究在微纳尺度下光与物质相互作用的规律及其光的产生、传输、调控、探测和传感等方面的应用。 |
